德國(guó)ERS

 　　德國(guó)ERS公司是 擁有強(qiáng)生產(chǎn)能力的開(kāi)發(fā)公司，可實(shí)現(xiàn)真正的高產(chǎn)量交付性能目標(biāo)。ERS的核心技術(shù)是為可靠的產(chǎn)品提供的晶圓溫度測(cè)試技術(shù)，這種技術(shù)不僅能滿足客戶需求，而且提供基準(zhǔn)開(kāi)發(fā)。德國(guó)ERS公司于1970年生產(chǎn)出 個(gè)用于晶圓測(cè)試的溫度卡盤(pán)，并從此引 業(yè)界。在80年代末，隨著ERS的SuperCool®問(wèn)世，自動(dòng)晶圓探針臺(tái)的真正生產(chǎn)中的冷測(cè)試成為可能。到90年代早期，ERS轉(zhuǎn)向了純空氣冷卻系統(tǒng)，完全改變了人們對(duì)其可靠性的期望。