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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細說明
TTS系列機器人可以在沒有軌道的情況下訪問EFEM的2個和3個FOUP。專門設(shè)計的驅(qū)動系統(tǒng)使機器人能夠*其平穩(wěn)且高精度地移動。此外，其剛性伸縮機構(gòu)可實現(xiàn)高位和低位的高速操控。
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