佳武
 

IMPAC 對稱偏置波形發生器系列
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品牌： IMPAC
單價： 面議
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供貨總量：
貨期： 現貨
所在地： 美國
有效期至： 長期有效
最后更新： 2024-12-09 23:21
瀏覽次數： 25
詢價
公司基本資料信息
 
 
產品詳細說明
 　　直接控制襯底電壓和離子能量分布
　　eVoS? 平臺可直接控制晶圓表面電壓和離子能量分布，使工藝工程師能夠針對特定工藝結果優化偏置性能。
　　取代傳統的射頻（正弦波）偏置功率傳輸系統
　　提供優化的非對稱波形，可直接控制襯底電壓和離子能量分布
　　解決了正弦波偏差的主要缺點：廣泛、不受控制的離子能量分布
　　專有控制系統可直接控制晶圓偏置特性。支持多能量/多*脈沖
 
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