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產(chǎn)品詳細(xì)說明
TBS是高精度的單自由度直線軸。這款直線軸采用機(jī)械式軸承間接驅(qū)動(dòng)，在同類產(chǎn)品中提供出類拔萃的精準(zhǔn)性和精確性。此直線軸由高性能、小齒槽的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用雙編碼器的反饋控制模式，不僅性能卓越，而且調(diào)試簡單。*進(jìn)的間接驅(qū)動(dòng)控制以海德漢集團(tuán)的編碼器技術(shù)為核心，這款直線軸還為宏動(dòng)和微動(dòng)運(yùn)動(dòng)在全行程上提供卓越的機(jī)械性能。
該直線軸還具有獨(dú)特的設(shè)計(jì)特性和選配功能，例如隔熱功能、高剛性和微米*的硬限位功能，可充分滿足應(yīng)用對(duì)制程可靠和安全的嚴(yán)格要求。
該產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，也能滿足眾多不同行業(yè)的需求，滿足對(duì)高精準(zhǔn)度、高潔凈度、高穩(wěn)定性和高精確度的解決方案。
該產(chǎn)品適用但不限于以下應(yīng)用：圓晶工藝控制應(yīng)用，例如Overlay測量，關(guān)鍵尺寸和薄膜測量及光電應(yīng)用。
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