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產(chǎn)品詳細說明
DXRH是ETEL旋轉(zhuǎn)軸系列解決方案中的*新產(chǎn)品。這是*款單自由度、機械軸承為基礎的旋轉(zhuǎn)軸模組，兼有優(yōu)異的精度和準確性。
集成360,000線的編碼器，擁有無與倫比的機械性能完全可以比肩空氣軸承解決方案，但結(jié)構(gòu)更簡單，DXRH的核芯組件是海德漢性能卓越的編碼器和軸承技術(shù)，以及無齒槽、無扭矩波動的ETEL直驅(qū)電機技術(shù)。
DXRH模塊全面兼容標準的ETEL接口，該模塊可獨立使用，也可將其集成在ETEL的系統(tǒng)產(chǎn)品中。它還為所有基于DXRH的應用，提供了后續(xù)性能升*路徑，無需重新設計，因為接口是相同的。
DXR+旋轉(zhuǎn)模塊可集成在CHARON2和VULCANO2堆疊平臺上。它具有高剛性、高精度、高準確性、高清潔性等特點，由于采用不銹鋼設計，可有效減小熱變形。
盡管旋轉(zhuǎn)模塊主要用于半導體行業(yè)，但它同樣適用于不同的應用和需要高精度和高準確性旋轉(zhuǎn)解決方案的要求。
DXRH旋轉(zhuǎn)模塊可用于大量應用和行業(yè)，特別適用于圓晶的制程控制，例如Overlay測量、臨界尺寸和薄膜測量以及光電子應用。
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