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產品詳細說明
DXR+為ETEL的回轉模塊，結構緊湊，重量輕，配大型空芯軸，用于滿足半導體和電子行業的中端應用對高性價比的要求。
DXR+的剛性得到顯著提高，對支撐回轉模塊的XY平臺的控制帶寬有直接的影響。DXR+模塊使用48 VDC至300 VDC之間總線電壓工作。可用AccurET 48或300模塊驅動，對于更高位置穩定性要求的應用可用AccurET VHP驅動。
與ETEL的許多其它模塊*樣，DXR+可安裝在所有標準XY平臺上。DXR+是單自由度模塊，支持任意的角度運動。但可選配*定的角度運動范圍，大約60°為*個單位。在*定條件下，DXR+的潔凈度可從ISO 5至ISO 1。
DXR+旋轉軸
DXR+模塊是滿足以下應用要求的理想選擇：
運動的平穩性
中等精度要求（典型的跳動值大約為5 μm）
位置穩定性在100 nm范圍內，半徑150 mm時
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