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產(chǎn)品詳細(xì)說明
新型白光干涉儀 IMS5600-DS 用于*高精度的距離測量。該控制器提供具有智能評估功能的特殊校準(zhǔn)，并可實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率的*對測量。干涉儀用于具有*高精度要求的測量任務(wù)，例如電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)中。
特征
亞納米*精度的距離測量
*流：分辨率 < 30 皮米
*對測量，適用于臺階輪廓
緊湊而堅(jiān)固的傳感器，具有大偏移距離
測量速率高達(dá) 6 kHz，可實(shí)現(xiàn)高速測量
通過網(wǎng)絡(luò)界面輕松配置
適用于真空的傳感器和電纜
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