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產(chǎn)品詳細(xì)說明
優(yōu)化的微型環(huán)境提供 流的清潔度，性能優(yōu)于 ISO 1
雙、超薄邊緣夾持晶圓處理為 苛刻的應(yīng)用實現(xiàn)了快速的交換時間性能
直線運動晶圓引擎提供更簡單、更可靠的設(shè)置和故障排除
靈活、可配置的設(shè)計和 進的軟件支持縮短周期時間，并允許輕松集成、可維護性和可維護性 更多»本企業(yè)其它產(chǎn)品
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