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產品詳細說明
佳能新推出的FPA-3030EX6 KrF光刻機，支持模擬芯片制造，應用于物聯(lián)網和Power Device的傳感器和通信設備。FPA-3030EX6繼承上*代FPA-3000EX6（1999年9月發(fā)布）的功能，同時也提供特殊基板和功能的兼容性，用于制造多種半導體器件。
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