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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
監(jiān)視和控制快速的過(guò)程變化
新型 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供業(yè)界**的測(cè)量速度，可監(jiān)測(cè)和控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示器制造所需的快速工藝變化。Transpector XPR 3+ 非常適合現(xiàn)場(chǎng)空氣泄漏、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴疚锉O(jiān)測(cè)。與定期上升率測(cè)試相比，使用 Transpector XPR 3+ 進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量可提供卓越得多的產(chǎn)品保護(hù)。
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