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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
Guardian 可以將沉積速率控制在 0.1 至 10,000 ?/s 之間。它可操作*或兩個(gè)傳感器、*多 8 個(gè)光學(xué)輸入并控制*多 8 個(gè)沉積源，從而實(shí)現(xiàn)*多 8 種材料的共沉積。
INFICON Guardian 非常適合光伏模塊、OLED、光伏、超導(dǎo)薄膜和 MBE 制造等應(yīng)用。
Guardian 共沉積系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。使用 EIES，沉積的材料被熱離子發(fā)射器激發(fā)，從而產(chǎn)生光子。產(chǎn)生的光穿過(guò)濾光片到達(dá)光電倍增管 (PMT) 檢測(cè)器，該檢測(cè)器測(cè)量通過(guò)波長(zhǎng)的發(fā)射強(qiáng)度。然后，INFICON Guardian 控制器會(huì)生成*個(gè)信號(hào)來(lái)控制該材料的來(lái)源。帶有適當(dāng)濾光片的附加檢測(cè)器可用于多種材料。
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